羅茨真空泵是一種機(jī)械氣體運(yùn)輸泵，在工作時(shí)，羅茨泵內(nèi)的兩個(gè)8字形的轉(zhuǎn)子以相反的方向旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子的咬合精度很高，在轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子、轉(zhuǎn)子與泵體之間的間隙中也不使用油作為密封介質(zhì)。由于轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)過程中掃過的空間很大，加上轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速很高，因而這種真空泵的抽速很大，且其極限真空度較高，可以達(dá)到10負(fù)二次方Pa左右，但氣體的壓力低于10負(fù)一次方Pa以后不，氣體的回流將造成羅茨泵抽速的降低。而在壓力較高時(shí)，大量氣體的高速壓縮會引起泵體和轉(zhuǎn)子的發(fā)熱與熱膨脹。造成配合精度很高的泵體的損壞。因此，羅茨泵的適應(yīng)壓力范圍在0.1-1000Pa之間。在一般情況下，羅茨泵總是是與旋片式機(jī)械真空泵串聯(lián)成真空泵機(jī)組使用。