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無油干式真空泵的工作原理和應(yīng)用

點(diǎn)擊次數(shù):3401 更新時(shí)間:2014-06-10

無油干式真空泵的工作原理和應(yīng)用
應(yīng)用范圍:
無油真空泵的應(yīng)用是廣泛的,主要有以下幾個(gè)方面:
[1]低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
[2]半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕 性氣體和研磨微粒;
[3]除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭校M⒘E懦霰猛?,則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要 求;
[4]在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機(jī)溶劑造成污染,適合用干式真空泵;
[5]用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí) 泵,以防止油污染。
工作原理:
      無油活塞式真空泵又名【干式機(jī)械泵】,意思是指泵能從大氣壓力下開始抽氣,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì),而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級(jí)或者接近的機(jī)械真空泵。目前,真空行業(yè)使用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì),在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大,原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個(gè)急需解決問題:一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器,而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量,增加設(shè)備的維護(hù)成本。其次,由于某些工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì),使泵不能正常工作。

 

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